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           浙江博藍特半導體科技股份有限公司成立于2012年,公司采用國際領(lǐng)先的光學(xué)、半導體制備工藝技術(shù),利用先進(jìn)的新型半導體材料加工設備,致力于GaN基LED芯片(圖形化)襯底、第三代半導體材料碳化硅、MEMS智能傳感器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,在LED芯片(圖形化)襯底領(lǐng)域已發(fā)展成為國內排名前三的市場(chǎng)規模和行業(yè)地位。經(jīng)過(guò)多年穩健發(fā)展,公司形成了以金華為集團總部,下設金華博藍特新材料有限公司、浙江富芯微電子科技有限公司、金華富芯微納電子科技有限公司、黃山博藍特半導體科技有限公司、博藍特(蘇州)微電子技術(shù)有限公司、廈門(mén)立芯元奧微電子科技有限公司、博藍特半導體(深圳)有限公司等多家子公司,業(yè)務(wù)范圍遍布海內外。公司擁有省級院士專(zhuān)家工作站、省級企業(yè)研究院、省級高新技術(shù)企業(yè)研發(fā)中心、省級企業(yè)技術(shù)中心等研發(fā)平臺,并與中南大學(xué)、合肥工業(yè)大學(xué)、中科院物理所等科研院校合作,共同致力于科技成果產(chǎn)業(yè)化。公司相繼主持多項省市級重大科技研發(fā)項目,榮獲中國輕工業(yè)聯(lián)合會(huì )科學(xué)技術(shù)一等獎、省科技進(jìn)步一等獎、省技術(shù)發(fā)明三等獎、省科技成果獎、省級制造精品、省級專(zhuān)精特新企業(yè)、省級綠色工廠(chǎng)、省級節水標桿企業(yè)、連續三年納稅超千萬(wàn)、市優(yōu)秀企業(yè)(金星獎)、市級專(zhuān)利示范企業(yè)、開(kāi)發(fā)區工業(yè)十強企業(yè)、經(jīng)濟密度十強企業(yè)、開(kāi)發(fā)區政府質(zhì)量獎。主持并參與國際行業(yè)標準制定6項,主持制定浙江制造標準1項,并通過(guò)產(chǎn)品品質(zhì)標認證。申報核心專(zhuān)利100余項。公司持續以領(lǐng)先的技術(shù)水平、雄厚的研發(fā)實(shí)力和卓越的管理理念為基礎,秉承“持續滿(mǎn)足客戶(hù)需求,為客戶(hù)創(chuàng )造獨特價(jià)值”的經(jīng)營(yíng)理念,以創(chuàng )新為核心,推動(dòng)企業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,力爭成為全球領(lǐng)先的新型半導體材料及器件供應商。

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    公司采用國際先進(jìn)的半導體加工技術(shù)及先進(jìn)的硬脆材料加工設備,致力于藍寶石襯底、碳化硅襯底及圖形化藍寶石襯底的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。

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    浙江博藍特半導體科技股份有限公司成立于2012年10月,總部坐落于國家級經(jīng)濟開(kāi)發(fā)區浙江省金華市。

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原位激光輔助制造柔性石墨烯氣體傳感器

發(fā)布時(shí)間:2023/2/2 15:53:36 瀏覽次數:2056

柔性/可拉伸氣體傳感器在智能物聯(lián)網(wǎng)革命中的關(guān)鍵作用,為工業(yè)安全、污染監測和個(gè)性化醫療提供了獨特的應用機遇。具有3D微孔結構的激光誘導石墨烯(LIG)泡沫可以通過(guò)對商用聚酰亞胺膜(Kapton)或其他含碳材料進(jìn)行激光刻劃來(lái)簡(jiǎn)單地制造,以構建柔性/可拉伸的氣體傳感平臺。激光誘導石墨烯的高比表面積、優(yōu)異的氣體滲透性和低成本制造工藝,使氣體傳感器具有優(yōu)異的性能參數。

半導體氣敏納米材料的合成大致可分為物理或化學(xué)方法。常見(jiàn)的物理方法包括濺射、電子束蒸發(fā)、球磨、激光輔助合成和電噴霧等。常見(jiàn)的化學(xué)方法有溶膠-凝膠法、水熱法、共沉淀、化學(xué)氣相沉積和微乳化等。然而,這些方法都有其局限性。

據麥姆斯咨詢(xún)報道,美國賓夕法尼亞州立大學(xué)和中國電子科技大學(xué)的研究人員改進(jìn)了過(guò)去的滴鑄法(使用移液器將材料逐個(gè)滴注到襯底上),利用原位激光輔助制造方案,開(kāi)發(fā)了一種柔性石墨烯氣體傳感器制造工藝。該研究成果已經(jīng)以“In situ laser-assisted synthesis and patterning of graphene foam composites as a flexible gas sensing platform”為題,發(fā)表于近期的Chemical Engineering Journal期刊。
柔性氣體傳感器可以用作醫療診斷工具,通過(guò)檢測呼吸或汗液中的氧氣或二氧化碳水平來(lái)診斷人體健康狀況,它們還可以通過(guò)檢測氣體、生物分子和化學(xué)物質(zhì)來(lái)監測室內外環(huán)境中的空氣質(zhì)量。

該論文通訊作者、美國賓夕法尼亞州立大學(xué)工程學(xué)院程寰宇(Huanyu “Larry” Cheng)教授表示:“使用滴鑄法,氣體傳感器的各個(gè)氣敏納米材料部分必須單獨合成,然后將它們整合,這在后續組織方面很有挑戰性,需要很長(cháng)時(shí)間,而且成本高昂。原位法可以一次直接合成氣敏納米材料,而激光加速了這一過(guò)程。”

據程寰宇教授介紹,該方法為使用不同的前體或納米材料提供了可能,并將它們以不同的比例和成分混合。此前,研究人員使用氧化石墨烯和二硫化鉬制造氣體傳感器敏感材料。利用新方法,研究人員測試了另外四類(lèi)材料,包括過(guò)渡金屬二硫屬化物、金屬氧化物、摻雜貴金屬的金屬氧化物以及復合金屬氧化物。

“特定的納米材料可以幫助我們感知不同的生物標志物或氣體,所以嘗試并利用不同的材料非常重要。”程寰宇教授說(shuō),“例如,一種氣敏納米材料通常只能檢測一種目標氣體分子。有了更多的材料選擇,就有潛力檢測更多分子,從而提高傳感器的感知能力。”

利用數種納米材料,研究人員構建了一個(gè)由多個(gè)并排放置的小型氣體傳感器組成的陣列。程寰宇教授說(shuō),該陣列的感知能力可以比作人類(lèi)的鼻子。

程寰宇教授說(shuō):“鼻子進(jìn)化到用數百萬(wàn)個(gè)嗅覺(jué)細胞檢測數百萬(wàn)種氣味。以同樣的方式,每個(gè)氣體傳感器敏感材料都能夠檢測到不同的化學(xué)物質(zhì)。”

此外,通過(guò)新的傳感器設計,研究團隊不再需要為氣體傳感器設計單獨的熱源,進(jìn)一步降低了器件制造的復雜性。新設計將氣敏納米材料集成在單線(xiàn)多孔石墨烯泡沫上,而舊設計是將納米材料填充電極之間的間隙。單線(xiàn)多孔石墨烯泡沫中的電阻產(chǎn)生焦耳熱以進(jìn)行自加熱。

其研究結果是產(chǎn)生具有多種應用的復雜氣體傳感器,包括監測并警告用戶(hù):工廠(chǎng)氣體組分的快速上升,例如工業(yè)現場(chǎng);氣體隨時(shí)間的累積,例如環(huán)境污染監測。

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